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人眼大概可分辨出0.1-0.2mm的最小距离，而光学显微镜能达到0.2um左右的分辨能力。若想看到更微小的距离就需要借助电子显微镜了，它能让人看到纳米级、甚至皮米级原子像。科技日报曾推出系列文章报道制约我国工业发展的35项“卡脖子”技术，其中就包括了透射电子显微镜。

目前，世界上生产透射电子显微镜的，主要有日本的日本电子和日立、美国的赛默飞以及近期新加入的捷克公司——Tescan。

从透射电子显微镜开始研发到取得一系列成果，我国的透射电镜的发展路线呈现的是从零开始追赶国外厂商、甚至达到了国际先进水平。但自从上世纪90年代以来，因种种原因，透射电镜的研制停滞、断层，更是导致如今透射电镜已经成为我国35项被“卡脖子”的关键技术之一。

透射电子显微镜作为基础科学研究中观察微观世界的“火眼金睛”，对半导体、材料科学、生命科学等重要领域的基础科研和新材料探索起着不可替代的作用，而这些应用领域对我国的国防、科研、生物医药、半导体工业等建设发展举足轻重。然而特殊历史时期的动荡不安和改革开放后的政策大环境，加上随着时间的推移，国内外技术上的差距逐渐在拉大，这些均让透射电子显微镜产业化在我国的发展举步维艰。如此重要的科研设备，我国却无法量产出可以满足自身科研要求的国产化设备，更多的还是要依靠进口。

作为电子显微镜的重要结构之一及消耗品——电镜灯丝，同样面临着“卡脖子”的技术问题。在扫描电镜中，当灯丝通电时，灯丝表面会产生高温，此时灯丝表面会发射出大量电子，这些电子会形成电子束。由于电子束能量高，能穿透样品表层，反弹后再次进入到检测器内部，进而被转化为图像。因此灯丝在电镜中的作用是非常关键的，有着关键性的贡献。

York Probe Sources (YPS) Ltd 是电子光学器件的专业英国制造商。YPS为各种机器制造和供应自己的电子发射器（肖特基场发射类型），包括 SEM、电子微探针、电子束光刻和其他电子束仪器。

电镜灯丝是电镜中最为关键的部件之一，主要作用是产生电子束。灯丝的品质选择直接影响到在成像质量上的表达,YPS热场发射（FE）电镜灯丝可以用在多种聚焦电子束系统上，如SEM，TEM，Auger和CD-SEM等；其优异稳定的质量可以和FEI及Denka媲美，且互换；适用于多种电镜如 Hitachi, JEOL, ZEISS, FEI , PHI , Tescan 等。

YPS场发射（FE）电镜灯丝主要有2种型式：

1、YPS-174

（图为YPS-174实物图）

YPS174是较普通的标准场发射灯丝，与FEI和Denka有相同的品质。光圈直径400um，针尖max250um。

TYPES-174与Amray, Hitachi、JEOL、ZEISS/LEO、FEI(pre2002)、PHI和Ribery系统上使用的热场发射源兼容。

（图为YPS-174细节图）

2、YPS-184

（图为YPS-184实物图）

抑制器孔径直径为400µm，发射器从抑制器电极突出250µm

主要用于FEI SEM电镜，也可用于Tescan FESEMs。

（图为YPS-184细节图）

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