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本文节选自智研咨询特推出《2023-2029年中国扫描电镜行业市场运行格局及发展策略分析报告》

扫描电镜(SEM)是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，它可以利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品来观察物质微观形貌表征，是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。

扫描电子显微镜类型多样，不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子枪种类可分为三种：场发射电子枪扫描电镜、钨丝枪扫描电镜和六硼化镧扫描电镜。其中，场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。

我国SEM的研制起步较早，在20世纪70年代即已开始SEM的研发工作。20世纪80年代中期到90年代末，是中国自主研发SEM的集中期，如中科科仪研发的LaB6阴极电子枪、中科院上海冶金研究所研制的新型背散射电子探测器——鲁滨逊探测器，都是自主研发的典型例子。

扫描电镜电子枪阴极

扫描电子显微镜（SEM）具有操作简单，结果准确，且有比较完善的数据处理功能。微束分析测试仪器家族中的重要成员，是自然科学研究领域样品微观特征研究必不可少的观测工具。

随着扫描电子显微镜（SEM）的应用范围不断覆盖材料科学、基础科研、工业生产等各个领域，其市场需求随着下游产业的稳步发展呈现稳步增长的趋势。2021年我国扫描式电子显微镜需求量从2015年的226台增长到435台，2022年约为465台，预计2023年我国扫描式电子显微镜需求量将突破500台，达到505台的峰值，其中：高端扫描电镜需求量70台，中低端扫描电镜需求量435台。

场发射电子显微镜

我国扫描电子显微镜应用的越来越广泛，目前主要应用于纺织，化工，印染，仪器仪表，材料分析，教学科研等许多领域。其中，应用于材料，化工分析领域市场份额为40.4%；应用于生物，医学领域市场份额为33.7%，应用于教学科研领域市场份额为22.6%

作为扫描电镜的主要结构之一的电镜灯丝，是扫描电镜中的消耗品。在扫描电镜中，当灯丝通电时，灯丝表面会产生高温，此时灯丝表面会发射出大量电子，这些电子会形成电子束。由于电子束能量高，能穿透样品表层，反弹后再次进入到检测器内部，进而被转化为图像。因此灯丝在扫描电镜中的作用是非常关键的，有着关键性的贡献。

扫描电镜下的植物花粉

York Probe Sources (YPS) Ltd 是电子光学器件的专业制造商。YPS为各种机器制造和供应自己的电子发射器（肖特基场发射类型），包括 SEM、电子微探针、电子束光刻和其他电子束仪器。YPS电镜灯丝由于具有优良的导电性、热性能和良好的稳定性，因此在扫描电镜中被广泛应用。对于使用TFE源构建定制设计的电子束柱的开发人员来说，它也是一款出色的产品。

YPS-M20微型热场发射(TFE)肖特基源是一个完整的预对准组件，带有小型抑制器、陶瓷绝缘体和提取器，用于 Camscan Apollo 300 扫描电子显微镜的高级替代 FE 源，也可用于需要类似模块的其他应用。

（YPS-M20实物图）

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